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集成电路净化工程

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集成电路净化工程

  集成电路是世界上较复杂的工业产品之一。制造集成电路需要较复杂的设备和工艺。例如,要制造超大规模集成电路,我们要在比一根手指还小的硅芯片上制造成百上千个晶体管和其他组件,以及比头发细几十倍的电子电路。这是常识。除了准确度,集成电路生产还需要清洁度——不是一般的清洁度,而是非凡的清洁度。在集成电路发展的历史上,人们认识到了超净化的重要性,但却付出了无数严重的挫折、教训和浪费。为了保证集成电路的超清洁生产,在复杂而漫长的生产过程中,即在没有密封到密封管壳中的“裸”状态下,要仔细检查IC芯片是否直接接触到任何东西。一旦杂质和灰尘污染芯片,先前的成果将被浪费。

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